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    石墨制品石墨舟装片房和石墨舟装载房的主要特点

    作者: 发布时间:2024-03-12 17:02:20

     石墨制品石墨舟装片房:用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器,确保吹出的空气到达净化要求。
      石墨制品石墨舟工作原理:
      空气通过高效过滤后,阻尼层均压,使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区,从而确保了工作区内到达工艺要求的洁净度,操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。
      石墨制品石墨舟主要特点:
      1、能精确的使石墨舟承载装片车定位;
      2、选用不锈钢制造,整机结构巩固牢靠;
      3、选用GK系列高效空气过滤器3只;
      4、PECVD承载车在里面可歪斜15度或旋转180度;
      5、净化风机噪音小于50dB。
      6、确保了工作区内到达工艺要求的洁净度100级。

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